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现代传感器的制作工艺包括哪些

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现代传感器的制作工艺包括哪些

发布时间:2017-12-18    访问次数: 次
 在我们现代很多机械设备中,都会有传感器的出现,像汽车等机械上面都有它的存在,主要起一些感应作用,使用范围比较广,但是也正是因为如此,市场上对于传感器的需求也是不一样的,所以制作厂家都会生产各种类型不一的设备,不同设备使用的制作工艺肯定也是不一样的,接下来我们就来说说现代传感器的制作工艺包括哪些。
传感器
1、集成传感器

集成传感器的生产工艺,和生产标准硅基半导体集成电路工艺是基本相同的。传感器通过集成方式进行制造后,可以获得更小的体积并集成更多的功能,部分集成传感器可以拥有一部分处理功能,来处理被测量信号。

2、薄膜传感器

薄膜传感器的制造涉及了纳米等先进技术,薄膜传感器的制作方法是在介质衬底也就是基板上,用敏感材料形成一层薄膜。薄膜传感器在制作时也可以复合一些电路系统,这需要使用到混合工艺。

3、厚膜传感器

厚膜传感器和薄膜传感器相对应,也是在基片上形成膜来进行制造,区别是厚膜传感器是在陶瓷制造的基片上,用敏感材料的浆料进行涂覆。厚膜传感器的制造材料多是氧化铝,涂层形成后进行热处理,这样厚膜即可成型。

4、陶瓷传感器

陶瓷传感器即新工艺的应用也是传统材料的应用,陶瓷传感器所使用的陶瓷材料是精细陶瓷也被称为高科技陶瓷,陶瓷传感器的制造主要是依靠标准的陶瓷工艺或变种的溶胶工艺,完成适当的预备性操作之后,将成形的元件在高温中进行烧结。

以上就是关于现代传感器制作工艺的一些介绍,希望可以对大家有所帮助。

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